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???: C4F6
???: 162
CAS ??: 685-63-2
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?? | <50PPm(V) | ||
N2 | <80PPm(V) | ||
O2 | <20PPm(V) | ||
????? | <20PPm(V) |
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??: 10L ?? 47L ?? ??? ?? ?? ?? ?? ?? ??? ?? ??